描述
要求：暂存区除USHIO人员及CHOT相关工程师以外严禁其他人员进入。因：①Lamp为易碎品，需要严格管控。②EUV Lamp house搭载及相关SET-UP，都在主设备Docking完成后进行，需要存放在暂存区的时间较长，为了避免丢失等发生，需要严格管控。 A B 说明：①Lamp house及点灯电源及Cable类按CHOT工艺制程进行保管存放；②Lamp统一进行保管管理； EUV搬入...